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边走边看Intel美光25nm晶圆厂一日

2019-04-11 11:17:42来源:励志吧0次阅读

上周末,Intel、美光合资闪存制造企业IM Flash Technologies, LLC(IMFT)宣布已经开始试制25bn工艺NAND闪存芯片。除了纸面宣布外,他们实际上还邀请了多家媒体到IMFT位于美国犹他州Lehi的25nm工艺晶圆厂进行参观。

位于雪山脚下的IMFT工厂

工厂结构,制造半导体产品关键的无尘室位于第三层多层板
,加压吊顶形成由上向下的气流,设备维护工作则在二层的 SubFab 层完成。

进入无尘室之前的 打包 过程花开富贵电玩城
。(由于无尘室内部的严格要求,实际上以下内部照片均来自IMFT官方)

晶圆厂内走廊,顶端的自动运输系统(AMHS)正在以每小时13公里的速度将晶圆在各个制造环节间运输,24小时不停歇。每个运载器都打在了一个FOUP(前端开口片盒)潜水搅拌机
,其中可装载多25片300mm晶圆。

厂内地面全部打孔,保证空气从上向下流通,将落尘可能减到小。

FOUP片盒挂接在一个制造阶段设备上,后面的那个正在被AMHS吊起。

几乎所有制造过程均为自动完成,因此厂内大部分工人的工作就是保证这些设备正常运行。

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